Accurion EP4 橢偏顯微鏡

用途：多層薄膜的厚度和光學常數(shù)（n、k值）測量

• 橫向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度測量精度0.1納米。

• 選區(qū)測量功能：實現(xiàn)微結構試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測量

• 全顯微鏡視場直接成像，取代傳統(tǒng)單點測量

• 光斑切割技術，真正實現(xiàn)超薄透明；基底上薄膜的無背底反射橢偏測量

• 多種技術聯(lián)用，如：原子力顯微鏡（AFM），

表面等離子共振(SPR)，反射光譜(RefSpec)，

拉曼光譜儀(RamanSpec)，石英晶體微天平（QCM)，

白光干涉儀（WLI）和LB槽/膜天平等

Accurion EP4 橢偏顯微鏡

Accurion EP4 橢偏顯微鏡

用途：多層薄膜的厚度和光學常數(shù)（n、k值）測量

• 橫向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度測量精度0.1納米。

• 選區(qū)測量功能：實現(xiàn)微結構試樣和微小試樣的選區(qū)橢偏測量

• 全顯微鏡視場直接成像，取代傳統(tǒng)單點測量

• 光斑切割技術，真正實現(xiàn)超薄透明；基底上薄膜的無背底反射橢偏測量

• 多種技術聯(lián)用，如：原子力顯微鏡（AFM），

表面等離子共振(SPR)，反射光譜(RefSpec)，

拉曼光譜儀(RamanSpec)，石英晶體微天平（QCM)，

白光干涉儀（WLI）和LB槽/膜天平等